| 上证报中国证券网讯 4月26日晚，芯源微发布了2021年一季报，公司实现营业收入1.13亿元，同比上涨1229.72%，归属于上市公司股东的净利润为650万元，较之同期实现了扭亏为盈。
芯源微主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），可用于8/12英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节）及6英寸及以下单晶圆处理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等环节）。
芯源微生产的涂胶显影设备产品成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中，在集成电路前道晶圆加工环节，作为国产化设备已逐步得到验证及应用，实现小批量替代；在集成电路制造后道先进封装、化合物、MEMS、LED芯片制造等环节，作为国内厂商主流机型已广泛应用在国内知名大厂，成功实现进口替代。
目前，芯源微正抓住前道发展机遇，加大研发投入，提升产品竞争力。前道芯片生产线的不断扩张和半导体设备国产化的大趋势为国产半导体设备企业的发展创造了历史性的机遇。芯源微适用于前道晶圆加工工序的涂胶显影设备和单片清洗设备已通过客户验证并投入使用。接下来，芯源微还将进一步提升该类设备的技术等级，同时做好下游市场开拓和客户服务，以提升在下游市场的认可度和渗透率，助力我国前道晶圆加工设备国产化率的持续提升。（陈志强）
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